CIQTEK DB500 هو مجهر إلكتروني لمسح الانبعاثات الميدانية مع عمود شعاع أيوني مركّز لتحليل النانو وإعداد العينات، والذي يتم تطبيقه باستخدام تقنية "SuperTunnel"، وانحراف منخفض، وتصميم عدسة موضوعية خالية من المغناطيسية، مع جهد منخفض ودقة عالية. القدرة التي تضمن قدرتها التحليلية على نطاق النانو. يسهل العمود الأيوني مصدر أيون المعدن السائل Ga+ مع شعاع أيوني مستقر للغاية وعالي الجودة لضمان القدرة على التصنيع النانوي.
تم تجهيز DB500 بمعالج نانو متكامل، ونظام حقن غاز، وآلية كهربائية مضادة للتلوث للعدسة الشيئية، و24 منفذ توسيع، مما يجعلها منصة شاملة للتحليل النانوي والتصنيع مع تكوينات شاملة وقابلية للتوسيع.
• تقنية "SuperTunnel" للبصريات الإلكترونية مع عدسة موضوعية خالية من المغناطيسية، ومناسبة للتصوير عالي الدقة، ومتوافقة مع تصوير العينات المغناطيسية.
• عمود شعاع الأيونات المركز الذي ينتج شعاع أيون عالي الجودة ومستقر للغاية، ومناسب لتصنيع النانو عالي الجودة وإعداد عينات TEM.
• مناور يعمل بالكهرباء الانضغاطية موجود في غرفة العينة مزود بنظام تحكم متكامل للتعامل الدقيق.
• نظام مطور بشكل مستقل مع قابلية توسعة قوية. تصميم تجميع مصدر الأيونات المتكامل لتبادل مصدر الأيونات بسرعة. خدمة ممتازة، مدعومة بضمان متضمن لمدة ثلاث سنوات.
الدقة: 3 نانومتر عند 30 كيلو فولت
تيار المسبار (نطاق تيار شعاع الأيون): 1 باسكال ~ 50 غ
نطاق الجهد المتسارع: 500 فولت ~ 30 كيلو فولت
الفاصل الزمني لتبادل مصدر الأيونات: ≥1000 ساعة
الاستقرار: 72 ساعة من التشغيل المتواصل
الغرفة مثبتة داخليًا
ثلاثة محاور مدفوعة بالكامل كهرضغطية
دقة محرك السائر ≥10 نانومتر
الحد الأقصى لسرعة السفر 2 مم/ثانية
تحكم متكامل
تصميم نظم المعلومات الجغرافية واحد
تتوفر مصادر مختلفة لسلائف الغاز
مسافة إدخال الإبرة ≥35 مم
تكرار الحركة ≥10 ميكرومتر
تكرار التحكم في درجة حرارة التسخين .10.1 درجة مئوية
نطاق التسخين: درجة حرارة الغرفة ~ 90 درجة مئوية
تحكم متكامل
نظام الشعاع الإلكتروني | نوع البندقية الإلكترونية | مسدس الإلكترون ذو الانبعاث الميداني شوتكي عالي السطوع |
دقة | 1.2 نانومتر @ 15 كيلو فولت | |
تسارع الجهد | 20 فولت ~ 30 كيلو فولت | |
نظام الشعاع الأيوني | نوع المصدر الأيوني | مصدر أيون الغاليوم السائل |
دقة | 3 نانومتر @ 30 كيلو فولت | |
تسارع الجهد | 500 فولت ~ 30 كيلو فولت | |
غرفة العينة | نظام الشفط | تحكم أوتوماتيكي بالكامل، نظام تفريغ خالي من الزيت |
الكاميرات |
ثلاث كاميرات (الملاحة البصرية + مراقبة الغرفة × 2) |
|
نوع المرحلة | مرحلة العينة الميكانيكية المركزية ذات 5 محاور | |
نطاق المرحلة |
X=110 ملم، Y=110 ملم، Z=65 ملم T: -10°~+70°، R:360° |
|
أجهزة الكشف والملحقات | معيار |
كاشف داخل العدسة كاشف Everhart-Thornley (ETD) |
خياري |
كاشف الإلكترونات المتناثرة في الخلف (BSED) القابل للسحب كاشف الفحص المجهري الإلكتروني القابل للسحب (STEM) مطياف تشتت الطاقة (EDS) نمط حيود التشتت الخلفي للإلكترون (EBSD) مناور النانو نظام حقن الغاز منظف البلازما قفل تبادل العينات لوحة تحكم كرة التتبع والمقبض |
|
برمجة | اللغات | إنجليزي |
نظام التشغيل | شبابيك | |
ملاحة | كاميرا التنقل، التنقل السريع بالإيماءات | |
وظائف تلقائية | السطوع والتباين التلقائي، التركيز التلقائي، الوصمة التلقائية |