CIQTEK SEM5000X هو مجهر إلكتروني لمسح الانبعاثات الميدانية عالي الدقة (FE-SEM) بدقة مذهلة تبلغ 0.6 نانومتر عند 15 كيلو فولت و1.0 نانومتر عند 1 كيلو فولت.
من خلال الاستفادة من عملية هندسة الأعمدة التي تمت ترقيتها، وتقنية "SuperTunnel"، وتصميم العدسات الشيئية عالية الدقة، يمكن لـ SEM5000X تحقيق المزيد من التحسينات في دقة التصوير ذات الجهد المنخفض. تمتد منافذ حجرة العينات إلى 16 منفذًا، ويدعم قفل تحميل تبادل العينات ما يصل إلى 8 بوصات من حجم الرقاقة (القطر الأقصى 208 مم)، مما يؤدي إلى توسيع التطبيقات بشكل كبير. تغطية. توفر أوضاع المسح المتقدمة والوظائف الآلية المحسنة أداءً أقوى وتجربة أكثر تحسينًا.
(* الملحقات الاختيارية)
المعلمات الرئيسية | دقة | 0.6 نانومتر @ 15 كيلو فولت، SE 1.0 نانومتر @ 1 كيلو فولت، SE |
تسارع الجهد | 20 فولت ~ 30 كيلو فولت | |
التكبير | 1 ~ 2,500,000 س | |
نوع البندقية الإلكترونية | مسدس شوتكي للانبعاث الإلكتروني | |
غرفة العينة |
نظام الشفط
|
التحكم الآلي بالكامل |
الكاميرات | الكاميرات المزدوجة (الملاحة البصرية + مراقبة الغرفة) | |
نوع المرحلة | مرحلة العينة الميكانيكية أحادية المركز ذات 5 محاور | |
نطاق المرحلة | X=110 ملم، Y=110 ملم، Z=65 ملم T: -10*~+70°، R: 360° |
|
أجهزة الكشف والملحقات | معيار | كاشف داخل العدسة كاشف Everhart-Thornley (ETD) |
خياري | كاشف الإلكترونات المتناثرة للخلف (BSED) القابل للسحب كاشف الفحص المجهري الإلكتروني القابل للسحب (STEM) مطياف تشتت الطاقة (EDS) نمط حيود الإلكترون المرتد (EBSD) قفل تبادل العينات (4 & 8 بوصات اختياري) كرة التتبع وأمبير. لوحة تحكم المقبض عينة المرحلة جنبا إلى جنب التباطؤ المجال المغناطيسي & نظام عزل الضوضاء الصوتية (معتمد من SEMI) |
|
برمجة | اللغات | إنجليزي |
نظام التشغيل | شبابيك |
|
ملاحة | كاميرا التنقل، التنقل السريع بالإيماءات |
|
وظائف تلقائية | السطوع التلقائي & أمبير؛ التباين، التركيز التلقائي، الوصمة التلقائية |