مصدر الإلكترون: يعمل SEM باستخدام مصدر إلكترون، عادةً ما يكون خيوط تنجستين ساخنة أو مسدس انبعاث مجالي، لإنتاج شعاع من الإلكترونات.
توليد شعاع الإلكترون: يصدر مصدر الإلكترون إلكترونات يتم تسريعها إلى طاقات عالية بواسطة مجال كهربائي. يتم تركيز الإلكترونات في شعاع ضيق باستخدام العدسات الكهرومغناطيسية.
تفاعل العينة: يتم توجيه شعاع الإلكترون الأولي إلى سطح العينة. عندما يتفاعل الشعاع مع العينة، تحدث عدة أنواع من التفاعلات، بما في ذلك التشتت والامتصاص وانبعاث الإلكترونات الثانوية.
التشتت: قد تخضع الإلكترونات الأولية للتشتت المرن أو غير المرن أثناء تفاعلها مع الذرات الموجودة في العينة. وينتج عن التشتت المرن تغير في اتجاه شعاع الإلكترون، بينما يؤدي التشتت غير المرن إلى فقدان الطاقة بسبب التفاعلات مع ذرات العينة.
انبعاث الإلكترون الثانوي: تقوم بعض الإلكترونات الأولية بطرد الإلكترونات الثانوية من سطح العينة من خلال التشتت غير المرن. تحمل هذه الإلكترونات الثانوية معلومات حول تضاريس العينة وتكوينها.
كشف الإشارة: يتم الكشف عن الإلكترونات الثانوية المنبعثة، إلى جانب الإشارات الأخرى مثل الإلكترونات المرتدة وانبعاثات الأشعة السينية المميزة، باستخدام أجهزة كشف مختلفة. بعض أجهزة الكشف الشائعة في SEM هي كاشف Everhart-Thornley للإلكترونات الثانوية وكاشفات الإلكترونات المرتدة أو الأشعة السينية الناتجة عن العينة.
تكوين الصورة: يتم بعد ذلك تضخيم الإشارات المكتشفة ومعالجتها لتكوين صورة. عادةً ما يتم تحويل شدة الإشارة إلى تمثيل بتدرج رمادي أو ألوان زائفة، مما يسمح بتصور ميزات السطح وتفاصيله.
المسح: لإنشاء صورة كاملة، يتم مسح شعاع الإلكترون بشكل منهجي عبر سطح العينة بنمط نقطي. ويتم تسجيل شدة الإشارات المكتشفة عند كل نقطة، مما يسمح ببناء صورة عالية الدقة.
عرض الصور وتحليلها: يتم عرض الصورة النهائية المعاد بناؤها على الشاشة أو تسجيلها لمزيد من التحليل. يمكن استخدام صور SEM لفحص البنية المجهرية والتشكل والتركيب العنصري والخصائص السطحية لمجموعة واسعة من المواد.
باختصار، يستخدم المجهر الإلكتروني الماسح تفاعل شعاع الإلكترون المركز عالي الطاقة مع العينة لتوليد صور مفصلة. من خلال تحليل الإشارات المنبعثة من العينة، يوفر SEM معلومات قيمة حول تضاريس السطح، والتشكل، وتكوين العينة بدقة عالية. ويستخدم على نطاق واسع في مجموعة متنوعة من التطبيقات العلمية والصناعية للبحث ومراقبة الجودة وتوصيف المواد.
تقدم CIQTEK العديد من معدات SEM عالية الجودة للباحثين والمستخدمين الصناعيين.