يعد المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) أداة قوية لمختلف التطبيقات في علوم المواد وعلوم الحياة وغيرها من المجالات. تم تطوير أنواع مختلفة من أجهزة الكشف للحصول على مزيد من المعلومات وتحسين أداء SEM. فيما يلي بعض الأنواع الشائعة من أجهزة كشف SEM :
كاشف الإلكترون المرتد (BSE): تُستخدم كاشفات مرض جنون البقر للكشف عن الإلكترونات المنتشرة بواسطة نوى الذرات والعناصر ذات العدد الذري المرتفع داخل المادة. توفر كاشفات جنون البقر صورًا عالية التباين يمكن استخدامها للتحليل التركيبي للمواد وتوصيف الهياكل المجهرية.
كاشف الإلكترون الثانوي (SE): يستخدم كاشف SE للكشف عن الإلكترونات الثانوية الموجودة على سطح المادة المثارة بواسطة شعاع الإلكترون الماسح. وبما أن مورفولوجيا السطح وتكوين المواد يؤثران على الإلكترونات الثانوية، فإن كاشف SE يوفر صورة عالية الدقة لتضاريس السطح.
كاشف إلكترون الإرسال (TED): تُستخدم كاشفات TED للكشف عن إلكترونات النقل التي تمر عبر طبقة رقيقة من المادة وتركز على الكاشف. تعد كاشفات TED مناسبة للتحليلات التركيبية والهيكلية عالية الدقة للمواد، على سبيل المثال، توصيف الجسيمات النانوية على المستوى الذري.
التحليل الطيفي للأشعة السينية المشتتة من الطاقة (EDS): تُستخدم كاشفات EDS لتحليل التركيب العنصري للمواد. عندما يتفاعل شعاع الإلكترون المسح مع عينة، يتم إنتاج أشعة سينية مميزة، ويقوم كاشف EDS بجمع وقياس طيف الطاقة لهذه الأشعة السينية لتحديد التركيب الكيميائي والتوزيع العنصري للمادة.
كاشف مجال التثبيط (RFD): يستخدم كاشف RFD لقياس الشحنة التي تحملها الإلكترونات المتولدة على سطح العينة. هذا النوع من الكاشف مفيد جدًا لدراسة التوصيل الكهربائي وخصائص الشحن السطحي للمواد.
هذه ليست سوى بعض من أجهزة كشف SEM الشائعة؛ في الواقع، هناك العديد من الأنواع الأخرى من أجهزة الكشف، ولكل منها مزايا وتطبيقات مختلفة. ويعتمد اختيار الكاشف المناسب على أهداف الدراسة والمعلومات المطلوب الحصول عليها.