وقت السكن 10 نانوثانية/بكسل، الحد الأقصى لسرعة اكتساب التصوير 2*100 ميجا بكسل/ثانية
مجهر إلكتروني ماسح عالي السرعة للتصوير على نطاق واسع للحجم الكبير للعينات
CIQTEK HEM6000 مرافق تقنيات مثل المسدس الإلكتروني ذو الشعاع الكبير عالي السطوع، ونظام انحراف شعاع الإلكترون عالي السرعة، وتباطؤ مرحلة العينة عالية الجهد، والمحور البصري الديناميكي، والعدسة الموضوعية الكهرومغناطيسية والكهروستاتيكية المغمورة لتحقيق الحصول على صور عالية السرعة مع ضمان دقة النانو.
تم تصميم عملية التشغيل الآلي لتطبيقات مثل سير عمل التصوير عالي الدقة لمساحة كبيرة أكثر كفاءة وذكاءً. يمكن أن تصل سرعة التصوير إلى أكثر من 5 مرات أسرع من المجهر الإلكتروني التقليدي الماسح للانبعاثات الميدانية (FESEM).
وقت السكن 10 نانوثانية/بكسل، الحد الأقصى لسرعة اكتساب التصوير 2*100 ميجا بكسل/ثانية
HEM6000-Semi | HEM6000-بيو | HEM6000-ليت |
الجهد المنخفض والدقة العالية | الجهد المنخفض والدقة العالية | عملية مبسطة |
مجال رؤية كبير | خوارزميات آلية متنوعة للمجال البيولوجي | خيارات اختيار وفيرة |
خوارزميات محسنة خصيصًا لسهولة محاذاة العينات المتكررة للغاية | كاشف مرض جنون البقر الأمثل للتطبيقات البيولوجية | سير عمل آلي عالي السرعة |
الانحراف الكهروستاتيكي بخمس مراحل | نظام إعادة البناء البيولوجي ثلاثي الأبعاد |
مواصفات مجهر SEM عالي السرعة CIQTEK HEM6000 | HEM6000-شبه | HEM6000-بيو | HEM6000-لايت | |
البصريات الإلكترونية | القرار | 1.5 نانومتر@1 كيلو فولت SE | 1.8 نانومتر@1 كيلو فولت مرض جنون البقر | 1.5 نانومتر @ 15 كيلو فولت مرض جنون البقر |
تسريع الجهد | 0.1 كيلو فولت~6 كيلو فولت (وضع التباطؤ) | 6 كيلو فولت ~ 30 كيلو فولت (وضع بلا ديسيل) | 6 كيلو فولت ~ 30 كيلو فولت | |
التكبير | 66~1,000,000× | |||
المدفع الإلكتروني | مسدس الإلكترون ذو انبعاث مجال شوتكي عالي السطوع | |||
نوع العدسة الموضوعية | عدسة موضوعية مجمعة كهرومغناطيسية وكهروستاتيكية للغمر | |||
حارف كهرباء | خمس مراحل | أربع مراحل | أربع مراحل | |
نموذج نظام التحميل | نظام الفراغ | نظام فراغ أوتوماتيكي بالكامل خالي من الزيت | ||
مراقبة العينات | كاميرا مراقبة الغرفة الرئيسية الأفقية؛ كاميرا مراقبة غرفة قفل التحميل لتبادل العينات العمودية | |||
الحد الأقصى لحجم العينة | قطرها 4 بوصات | |||
نوع مرحلة العينة | مرحلة العينات الآلية ثلاثية المحاور (* مرحلة العينة الاختيارية المدفوعة بالكهرضغطية) | |||
نطاق انتقال مرحلة العينة | X، Y: 110 ملم؛ ض: 16 ملم | |||
تكرار مرحلة العينة | Xï¼±0.6 ميكرومترï¼Yï¼±0.3 ميكرومتر | |||
تبادل العينات | كامل تلقائي | |||
مدة تبادل العينات | <15 دقيقة | |||
تنظيف غرفة التحميل | نظام تنظيف البلازما الأوتوماتيكي بالكامل | |||
الحصول على الصور ومعالجتها | وقت المكوث | 10 نانو ثانية/بكسل | ||
سرعة الاكتساب | 2*100 م بكسل/ثانية | |||
حجم الصورة | 16 ك*16 ك | |||
الكاشف وملحقاته | كاشف الإلكترونات المتناثرة الخلفي القابل للسحب بزاوية منخفضة | اختياري | لا شيء | قياسي |
كاشف الإلكترونات المتناثرة خلفيًا بزاوية منخفضة، مثبت في الأسفل | اختياري | قياسي | لا شيء | |
كاشف الإلكترون الكلي داخل العمود | قياسي | اختياري | اختياري | |
كاشف الإلكترونات المرتدة بزاوية عالية داخل العمود | اختياري | اختياري | اختياري | |
مرحلة العينة الكهربية الانضغاطية | اختياري | اختياري | اختياري | |
وضع مجال الرؤية الكبير عالي الدقة (SW) | اختياري | لا شيء | لا شيء | |
نظام تنظيف بلازما غرفة التحميل | اختياري | اختياري | اختياري | |
نظام تحميل العينات مقاس 6 بوصات | اختياري | اختياري | اختياري | |
منصة نشطة مضادة للاهتزاز | اختياري | اختياري | اختياري | |
الحد من الضوضاء؛ خياطة ميدانية كبيرة المساحة؛ إعادة الإعمار ثلاثي الأبعاد | اختياري | اختياري | اختياري | |
واجهة المستخدم | اللغة | الإنجليزية | ||
نظام التشغيل | ويندوز | |||
الملاحة | التنقل البصري، التنقل بالإيماءات | |||
وظيفة تلقائية | التعرف التلقائي على العينات، التحديد التلقائي لمنطقة التصوير، السطوع والتباين التلقائي، التركيز التلقائي، الوصمة التلقائية |