المجهر الإلكتروني الماسح بالانبعاث الميداني (FE-SEM) مع أعمدة الشعاع الأيوني المركز (FIB)
يعتمد المجهر الإلكتروني لمسح الشعاع الأيوني المركز CIQTEK DB500 (FIB-SEM) تقنية البصريات الإلكترونية "SuperTunnel"، وانحراف منخفض، وتصميم موضوعي غير مغناطيسي مع جهد منخفض وقدرة عالية الدقة لضمان التحليل على نطاق النانو. يسهل العمود الأيوني مصدر أيون المعدن السائل Ga+ مع شعاع أيوني عالي الثبات وعالي الجودة للتصنيع النانوي.
يحتوي FIB-SEM DB500 على معالج نانو متكامل، ونظام حقن غاز، وآلية كهربائية مضادة للتلوث للعدسة الموضوعية، و24 منفذ توسيع، مما يجعلها منصة شاملة لتحليل النانو وتصنيعه مع تكوينات شاملة وقابلية للتوسيع .
• تكنولوجيا البصريات الإلكترونية "SuperTunnel" مع عدسة موضوعية خالية من المغناطيسية، مناسبة للتصوير عالي الدقة، ومتوافقة مع تصوير العينات المغناطيسية.
• ينتج عمود الحزمة الأيونية المركزة (FIB) شعاعًا أيونيًا عالي الجودة ومستقرًا للغاية، ومناسبًا لتصنيع النانو عالي الجودة وإعداد عينات TEM.
• مناور يعمل بالكهرباء الانضغاطية في حجرة العينة مع نظام تحكم متكامل للتعامل الدقيق.
• نظام مطور بشكل مستقل مع قابلية توسعة قوية. تصميم تجميع مصدر الأيونات المتكامل لتبادل مصدر الأيونات بسرعة. خدمة عالمية، ضمان لمدة ثلاث سنوات لـ FIB-SEM DB500.
الدقة: 3 نانومتر@30 كيلو فولت
تيار المسبار (نطاق تيار شعاع الأيون): 1 باسكال ~ 50 غ
نطاق جهد التسارع: 0.5 ~ 30 كيلو فولت
الفاصل الزمني لتبادل مصدر الأيون: ≥1000 ساعة
الاستقرار: 72 ساعة من التشغيل المتواصل
الغرفة مثبتة داخليًا
ثلاثة محاور مدفوعة بالكامل بكهرباء ضغطية
دقة محرك السائر ≥10 نانومتر
أقصى سرعة سفر 2 مم/ثانية
التحكم المتكامل
تصميم نظم المعلومات الجغرافية الفردي
تتوفر مصادر مختلفة لسلائف الغاز
مسافة إدخال الإبرة ≥35 مم
تكرار الحركة ≥10 ميكرومتر
تكرار التحكم في درجة حرارة التسخين .10.1 درجة مئوية
نطاق التسخين: درجة حرارة الغرفة ~ 90 درجة مئوية (194 درجة فهرنهايت )
التحكم المتكامل
مواصفات CIQTEK FIB-SEM DB500 | ||
نظام الشعاع الإلكتروني | نوع المسدس الإلكتروني | مسدس الإلكترون ذو الانبعاث الميداني شوتكي عالي السطوع |
القرار | 1.2 نانومتر@15 كيلو فولت | |
جهد التسارع | 0.02~30 كيلو فولت | |
نظام الشعاع الأيوني | نوع مصدر الأيونات | مصدر أيون الغاليوم السائل |
القرار | 3 نانومتر@30 كيلو فولت | |
جهد التسارع | 0.5~30 كيلو فولت | |
غرفة العينات | نظام الفراغ | تحكم آلي بالكامل، نظام تفريغ خالي من الزيت |
الكاميرات |
ثلاث كاميرات (الملاحة البصرية + مراقب الغرفة ×2) |
|
نوع المرحلة | مرحلة العينة الميكانيكية أحادية المركز ذات 5 محاور | |
نطاق المرحلة |
X=110 مم، Y=110 مم، Z=65 مم T: -10°~+70°، R:360° |
|
كاشفات وملحقات SEM | قياسي |
كاشف داخل العدسة كاشف إيفرهارت-ثورنلي (ETD) |
اختياري |
كاشف الإلكترونات المتناثرة للخلف (BSED) قابل للسحبكاشف الفحص المجهري الإلكتروني القابل للسحب (STEM) مطياف تشتت الطاقة (EDS/EDX) نمط حيود التشتت الخلفي للإلكترون (EBSD) معالج النانو نظام حقن الغاز منظف البلازما قفل تحميل تبادل العينات لوحة تحكم كرة التتبع والمقبض |
|
البرمجيات | اللغات | الإنجليزية |
نظام التشغيل | ويندوز | |
الملاحة | كاميرا التنقل، التنقل السريع بالإيماءات | |
الوظائف التلقائية | السطوع والتباين التلقائي، التركيز التلقائي، الوصمة التلقائية |
مجهر إلكتروني لمسح شعاع الأيونات المركز CIQTEK FIB-SEM BD500 |
العرض العملي لـ CIQTEK FIB-SEM - تحضير عينة TEM |