مجهر مسح إلكتروني بإشعاع مجال حزمة أيونات مُركّزة على Ga+
ال مجهر مسح إلكتروني بشعاع أيوني مركّز CIQTEK DB550 (FIB-SEM) يحتوي على عمود شعاع أيوني مُركّز للتحليل النانوي وتحضير العينات. يستخدم تقنية بصريات الإلكترونات "النفقية الفائقة"، وتصميمًا منخفض الانحراف، وعدسة غير مغناطيسية، ويتميز بخاصية "الجهد المنخفض، الدقة العالية" لضمان قدراته التحليلية النانوية.
تُسهّل أعمدة الأيونات مصدر أيونات معدنية سائلة من Ga+، مع حزم أيونات عالية الجودة وثبات عالٍ، لضمان قدرات التصنيع النانوي. DB550 هو محطة عمل متكاملة للتحليل والتصنيع النانوي، مزودة بمعالج نانوي متكامل، ونظام حقن غاز، وبرنامج واجهة مستخدم رسومية سهل الاستخدام.
1. "النفق العملاق" " تقنية عمود البصريات الإلكترونية/إبطاء الشعاع داخل العمود
تقليل تأثير الشحن المكاني، مما يضمن أداء دقة الجهد المنخفض.
2. خالية من التقاطع في مسار شعاع الإلكترون
يقلل بشكل فعال من انحرافات العدسات ويحسن الدقة.
3. عدسة موضوعية مركبة كهرومغناطيسية وكهروستاتيكية
تقليل الانحرافات، وتحسين الدقة بشكل كبير عند الفولتية المنخفضة، وتمكين مراقبة العينات المغناطيسية.
4. عدسة موضوعية ثابتة الحرارة مبردة بالماء
ضمان استقرار وموثوقية وإمكانية تكرار أداء عدسة الهدف.
5. نظام تبديل الفتحات المتغيرة متعددة الثقوب عن طريق انحراف الشعاع الكهرومغناطيسي
يتيح التبديل التلقائي بين الفتحات دون حركة ميكانيكية التبديل السريع بين أوضاع التصوير المختلفة.
الدقة: 3 نانومتر عند 30 كيلو فولت
تيار المجس: 1 بيكو أمبير إلى 65 نانو أمبير
نطاق جهد التسارع: من 0.5 كيلو فولت إلى 30 كيلو فولت
فترة تبادل مصدر الأيونات: ≥1000 ساعة
الاستقرار: 72 ساعة من التشغيل المتواصل
الغرفة مثبتة داخليًا
ثلاثة محاور مدفوعة بالكامل بالكهرباء الضغطية
دقة المحرك المتدرج ≤10 نانومتر
أقصى سرعة سفر 2 مم/ثانية
نظام التحكم المتكامل
تصميم نظام المعلومات الجغرافية الفردي
مصادر مختلفة لسلائف الغاز متاحة
مسافة إدخال الإبرة ≥35 مم
تكرار الحركة ≤10 ميكرومتر
إمكانية تكرار التحكم في درجة حرارة التسخين ≤0.1 درجة مئوية
نطاق التسخين: من درجة حرارة الغرفة إلى 90 درجة مئوية (194 درجة فهرنهايت) درجة فهرنهايت )
نظام التحكم المتكامل
>> أشباه الموصلات
في صناعة أشباه الموصلات، قد تواجه رقائق الدوائر المتكاملة (IC) أعطالًا متعددة. تُستخدم طرق مختلفة لتحليلها لتحسين موثوقيتها. وعلى وجه الخصوص، يُعد تحليل شعاع الأيونات المركز (FIB) تقنية تحليلية موثوقة.
توصيف العينات / تصنيع النانو الدقيقة / تحليل المقطع العرضي / تحضير العينات باستخدام المجهر الإلكتروني النافذ / تحليل الأعطال
>> صناعة الطاقة الجديدة
مراقبة وتحليل المقاطع العرضية للمواد لأغراض البحث وتطوير العمليات.
مراقبة مورفولوجيا / تحليل حجم الجسيمات / تحليل المقطع العرضي / تحليل التركيب والطور / تحليل فشل مادة بطارية ليثيوم أيون / عينة المجهر الإلكتروني النافذ P التعويض
>> مادة السيراميك
تحليل المواد: يمكن لنظام FIB-SEM إجراء عمليات تصنيع وتصوير دقيقة للغاية للمواد الخزفية، جنبًا إلى جنب مع أوضاع الكشف عن الإشارة المختلفة مثل الإلكترونات المتناثرة (BSE)، مطيافية الأشعة السينية المشتتة للطاقة (EDX)، نمط حيود الإلكترونات المتناثرة (EBSD)، ومطيافية الكتلة الأيونية الثانوية (SIMS)، لدراسة المواد على نطاق ميكروي إلى نانوي مع مساحة ثلاثية الأبعاد في العمق.
>> مادة السبائك
ولزيادة قوة وصلابة ومتانة المعادن، يتم إضافة مواد أخرى مثل السيراميك والمعادن والألياف، وغيرها، إلى المعدن باستخدام طرق مثل علم المعادن والصب والبثق، والتي تسمى المراحل المقواة.
تُستخدم عينات المجهر الإلكتروني النافذ (TEM) المُحضرة بواسطة المجهر الإلكتروني الماسح FIB-SEM لرصد معلومات مثل الأطوار المُعززة والذرات الحدودية من خلال إشارات الإلكترونات المنقولة. يمكن استخدام عينات المجهر الإلكتروني النافذ في تحليل حيود كيكوتشي (TKD)، والتحليل المعدني، والتحليل التركيبي، واختبار المقطع العرضي للسبائك في الموقع.
منصة واجهة مستخدم متكاملة للغاية
يتم دمج وظائف التصوير والمعالجة الخاصة بمجهر المسح الإلكتروني داخل واجهة مستخدم شاملة، مع عرض المراجع المقارنة على اليسار واليمين.
ملحقات وأجهزة وواجهات مستخدم تم تطويرها ذاتيًا مثل نظام حقن الغاز والمعالج النانوي، وتصميم بديهي للتخطيط لسهولة الاستخدام.
تقليل تلوث الغرفة بشكل فعال من خلال تصميم السكك التوجيهية الخطية، وفتح وإغلاق على شكل درج.
>> مطيافية تشتت الطاقة
>> التوهج الكاثولوجي
>> إي بي إس دي
مواصفات CIQTEK FIB-SEM DB550 | ||
البصريات الإلكترونية | نوع البندقية الإلكترونية | مسدس انبعاث إلكترونات شوتكي عالي السطوع |
دقة | 0.9 نانومتر عند 15 كيلو فولت؛ 1.6 نانومتر عند 1 كيلو فولت | |
جهد التسارع | 0.02 كيلو فولت إلى 30 كيلو فولت | |
نظام شعاع الأيونات | نوع مصدر الأيونات | الغاليوم |
دقة | 3 نانومتر عند 30 كيلو فولت | |
جهد التسارع | 0.5 كيلو فولت إلى 30 كيلو فولت | |
غرفة العينة | نظام الفراغ | نظام التحكم الآلي الكامل، نظام الفراغ الخالي من الزيت |
الكاميرات |
ثلاث كاميرات (الملاحة البصرية x1 + شاشة مراقبة الغرفة x2) |
|
نوع المرحلة | منصة عينة ميكانيكية مركزية بمحرك 5 محاور | |
نطاق المرحلة |
X=110 مم، Y=110 مم، Z=65 مم T: -10°~+70°، R:360° |
|
كاشفات المجهر الإلكتروني الماسح وملحقاتها | معيار |
كاشف الإلكترونات داخل العدسة كاشف إيفرهارت-ثورنلي (ETD) |
خياري |
كاشف الإلكترونات المتناثرة القابلة للسحب (BSED) كاشف المجهر الإلكتروني الناقل الماسح القابل للسحب (STEM) مطياف تشتت الطاقة (EDS/EDX) نمط حيود التشتت الخلفي للإلكترون (EBSD) معالج نانوي نظام حقن الغاز منظف البلازما قفل تبادل العينات لوحة التحكم بكرة التتبع والمقبض |
|
واجهة المستخدم | اللغات | إنجليزي |
نظام التشغيل | ويندوز | |
ملاحة | الملاحة البصرية، الملاحة السريعة بالإيماءات | |
الوظائف التلقائية | السطوع والتباين التلقائي، التركيز التلقائي، التشويش التلقائي |