أطلقت شركة CIQTEK حل رقاقة مزدوجة الشعاع مقاس 8 بوصات للمراقبة بالحجم الكامل والقطع الدقيق والمعالجة الشاملة

مع تقدم تصنيع أشباه الموصلات إلى عقد عملية أدق، أصبح تحليل العيوب على مستوى الرقاقة وتحديد موقع الفشل وتصنيع النانو الدقيقة أمرًا أساسيًا لتحسين العائد. سيكتيك يقدم حل معالجة كامل الحجم ثنائي الشعاع لرقاقة 8 بوصة ، من خلال الجمع بين التصوير عالي الدقة ومعالجة حزمة الأيونات الدقيقة لتحقيق "الملاحظة والتحليل والقطع" عبر الرقاقة بأكملها، مما يوفر دعمًا فنيًا قويًا لعمليات أشباه الموصلات المتقدمة.

يتميز هذا الحل بمرحلة عينة عالية الدقة بطول 150 مم، مما يتيح مراقبة ومعالجة كاملة وغير مدمرة للرقاقات مقاس 8 بوصات. بفضل نظام الملاحة البصرية الخارجي وخوارزميات منع التصادم الذكية، يضمن النظام تحديدًا دقيقًا وسريعًا للرقاقات وتشغيلًا آمنًا. النظام مزود بمدفع شوتكي لانبعاث الإلكترونات، بدقة 0.9 نانومتر عند 15 كيلو فولت، ودقة شعاع أيوني 3 نانومتر عند 30 كيلو فولت، وهو قادر على اكتشاف العيوب، وتقطيع المقطع العرضي، وتصنيع الهياكل الدقيقة على نطاق النانو.

المزايا الأساسية:

• مرحلة السفر 150 مم:

• • يجمع بين السفر الطويل والدقة العالية للحصول على نطاق مراقبة واسع.

  • توافق ممتاز مع التركيبات ذات الأحجام المختلفة.

  • يضمن الهيكل القوي استقرار الرقاقة والتحميل السريع والموثوق به.

• 8 بوصة تبادل سريع:

  • تصميم ذكي يتحمل الوزن مع قاعدة منزلقة لتحقيق الثبات والمتانة.

  • التوافق مع الحجم الكامل: يدعم رقائق مقاس 2/4/6/8 بوصة.

  • تبادل سريع للعينة: ضخ الفراغ وتحميل العينة خلال دقيقة واحدة.

• البرمجيات ومكافحة الاصطدام:

• • الملاحة الذكية الأوتوماتيكية بالكامل مع دقة الحركة والتحديد.

  • حركة منسقة متعددة المحاور لمراقبة الرقاقة بالكامل.

  • مكافحة الاصطدام الذكية: محاكاة المسار والحسابات المكانية الخوارزمية لتجنب المخاطر.

  • مراقبة متعددة في الوقت الحقيقي: مراقبة متعددة الزوايا في الوقت الحقيقي لموضع الرقاقة.

• الملاحة البصرية الخارجية:

  • يضمن تصميم الهيكل فائق الثبات منع اهتزاز الصورة.

  • تصوير عالي الدقة مع مجال رؤية دقيق لعرض كامل الرقاقة.

  • تعمل الإضاءة الاحترافية المضادة للتوهج على تقليل انعكاس سطح الرقاقة.

نطاق مراقبة الرقاقة

حلول المجهر الإلكتروني ثنائي الشعاع من CIQTEK يجمع بين الأجهزة المتميزة وأنظمة البرامج الذكية، مما يتيح اكتشاف العيوب بكفاءة وتحسين العملية من خلال ضبط السطوع والتباين بنقرة واحدة، والتركيز التلقائي، وإخراج الصور متعددة التنسيقات، مما يمكّن المستخدمين من إكمال السلسلة الكاملة للمهام من اكتشاف العيوب إلى تحسين العملية.