الفحص المجهري الإلكتروني لمسح الانبعاثات الميدانية عالي الدقة (FESEM): 0.6 نانومتر عند 15 كيلو فولت و1.0 نانومتر عند 1 كيلو فولت
يستخدم CIQTEK SEM5000X FESEM فائق الدقة عملية هندسة الأعمدة التي تمت ترقيتها، وتقنية "SuperTunnel"، وتصميم العدسة الموضوعية عالي الدقة لتحسين دقة التصوير ذات الجهد المنخفض.
تمتد منافذ حجرة العينات FESEM SEM5000X إلى 16، ويدعم قفل تحميل تبادل العينات ما يصل إلى 8 بوصات من حجم الرقاقة (القطر الأقصى 208 مم)، مما يؤدي إلى توسيع التطبيقات بشكل كبير. توفر أوضاع المسح المتقدمة والوظائف الآلية المحسنة أداءً أقوى وتجربة أكثر تحسينًا.
(*ملحقات اختيارية لـ FESEM SEM5000X)
مواصفات CIQTEK FESEM SEM5000X |
||
المعلمات الرئيسية | القرار |
0.6 نانومتر عند 15 كيلو فولت، SE 1.0 نانومتر عند 1 كيلو فولت، SE |
جهد التسارع | 0.02~30 كيلو فولت | |
التكبير | 1~2,500,000 × | |
نوع المسدس الإلكتروني | مسدس شوتكي للانبعاث الإلكتروني | |
غرفة العينات |
نظام الفراغ
|
التحكم الآلي بالكامل |
الكاميرات | كاميرات مزدوجة (ملاحة بصرية + مراقبة الغرفة) | |
نوع المرحلة | مرحلة العينة الميكانيكية أحادية المركز ذات 5 محاور | |
نطاق المرحلة |
X=110 مم، Y=110 مم، Z=65 مم ت: -10*~+70°، يمين: 360° |
|
كاشفات وملحقات SEM | قياسي |
كاشف داخل العدسة كاشف إيفرهارت-ثورنلي (ETD) |
اختياري |
كاشف الإلكترونات المتناثرة الخلفي القابل للسحب (BSED) كاشف الفحص المجهري الإلكتروني القابل للسحب (STEM) مطياف تشتت الطاقة (EDS/EDX) نمط حيود التشتت الخلفي للإلكترون (EBSD) قفل تحميل تبادل العينات (4 بوصات و8 بوصات اختياري) لوحة تحكم كرة التتبع والمقبض التباطؤ الترادفي لمرحلة العينة نظام عزل المجال المغناطيسي والضوضاء الصوتية (معتمد من SEMI) |
|
البرمجيات | اللغات |
الإنجليزية |
نظام التشغيل |
ويندوز |
|
الملاحة |
كاميرا التنقل، التنقل السريع بالإيماءات |
|
الوظائف التلقائية |
السطوع والتباين التلقائي، التركيز التلقائي، الوصمة التلقائية |